Q1: Liema ligi ta 'purità ultra-għolja jintużaw f'sistemi ta' konsenja tal-gass semikondutturi?
A1:316L VIM-VAR ELETTROO (Induzzjoni bil-vakwu mdewba-vacuum arc remelted) L-istainless steel huwa standard għal gassijiet ta 'purità għolja . ligi tan-nikil bħal hastlloy C -22 manku ta' prekursuri korrużivi.} ligi speċjali tar-ram huma użati għal ultra-high chambers Il-materjali jżommu livelli ta 'purità taħt il-livelli ta' kontaminanti 1ppb .
Q2: Kif jiġu kkontrollati l-għadd tal-partikuli fil-pajpijiet ta 'grad semikondutturi?
A2:Assemblea tal-kamra nadifa tipprevjeni kontaminazzjoni tal-partikulati waqt l-installazzjoni . tindif ultrasoniku tneħħi r-residwi tal-manifattura . Proċessi ta 'passivazzjoni Ottimizza l-kimika tal-wiċċ {. Sistemi ta' Purge Kontinwu Żomm Ambjenti Inerti . L-Cleanters tal-Laser Verifika għall-Klassi 1<0.1 particles/ft³ >0.1μm).
Q3: X'jagħmel pannelli tal-gass semikondutturi differenti mill-pajpijiet industrijali?
A3:Il-pannelli tas-semikondutturi jużaw komponenti ta 'purità ultra-għolja b'konnessjonijiet issiġillati bil-metall . Finituri tal-wiċċ jiksbu<5Ra micro-inch smoothness. Specialized valves and regulators prevent outgassing. Complete systems are helium-leak tested to <1×10⁻⁹ atm-cc/sec. These extreme measures prevent wafer contamination.
Q4: Għaliex huma meħtieġa tekniki speċjali ta 'wweldjar għal pajpijiet tas-semikondutturi?
A4:L-iwweldjar orbitali bil-pulsazzjoni ta 'frekwenza għolja jimminimizza l-input tas-sħana u d-distorsjoni . dahar li jnaddaf b'argon ta' purità ultra-għolja jipprevjeni ossidazzjoni . Sistemi awtomatizzati jiżguraw ripetibbiltà perfetta . Il-weldjaturi kollha jgħaddu minn spezzjoni tal-borescope u ttestjar ta 'tnixxija ta' l-elju . dawn livelli .
Q5: Kif jiġu vvalidati l-pajpijiet tal-kunsinna tal-gass għal fabs semikondutturi?
A5:Il-validazzjoni tinkludi analiżi tal-gass residwu għall-kontaminanti . sims (spettrometrija tal-massa sekondarja tal-joni) tiċċekkja l-kompożizzjoni tal-wiċċ . testijiet ta 'qtugħ li jikkwantifikaw l-emissjonijiet volatili . testijiet ta' shedding tal-partikuli jikkonfermaw l-indafa . dawn il-proċeduri jiżguraw il-konformità mal-istandards semi għall-manifattura taċ-ċippa {{4}
